بطريقة الرش المهــبطي: تأثير الاستطاعة RF. (a-SiN) الخصائص الكهربائية لرقائق  نيتريد السيليسيوم اللامتبلور

عطاف, ع; عيدة, م.ص; بن خذير, م.ل

Sciences & Technologie
Volume 0, Numéro 15, Pages 5-8
2001-06-30

بطريقة الرش المهــبطي: تأثير الاستطاعة Rf. (a-sin) الخصائص الكهربائية لرقائق نيتريد السيليسيوم اللامتبلور

الكاتب : عطاف ع . عيدة م.ص . بن خذير م.ل .

الملخص

تستعمل رقائق نيتريد السيليسيوم اللامتبلور (a-SiN) المحضرة تحت درجة حرارة منخفضة بكثرة في ميدان الإلكترونيات الدقيقة. و لملاحظة تأثير الاستطاعة RF على الخصائص الكهربائية لهذه الرقائق، تم ترسيب مجموعة منها تتراوح استطاعة توضعها بين 150 واط و 400 واط. تمت دراسة تغيرات التيار و السعة بدلالة الجهد و ذلك باستخدام تركيبة: (MIS)، حيث كان للاستطاعة RF تأثير واضح على هذه الخصائص، إذ بزيادتها تغير نوع النقل من الأومي إلى البـول-فرنكل، أما المقاومية () فقد أبدت تزايدا مع زيادة الاستطاعة، بينما تناقص مجال الانهيار الكهربائي وثابت العازلية الديناميكي (d) مع زيادتها. دراسة السعـة الكهربائية C(v) بينـت أن الرقائق تحتوي على حوامـل شحـن في الحجـم و في منطقة التداخـل و تزايدت بزيـادة الاستطاعة RF، بينما أبدى ثابت العازلية الساكن (s) ارتفاعا كبيرا عند الإستطاعات الضعيفة ثم حدث له سقوط سريع، بعدها بدأ في التزايـد بزيادة الاستطاعة.