Sciences & Technologie
Volume 0, Numéro 15, Pages 41-46

Contribution A L’etude Des Proprietes Optiques Des Couches Minces De Silicium Amorphe Hydrogene

Auteurs : Mellassi K . Chafik El Idrissi M . Chouiyakh A . Rjeb A . Barhdadi A .

Résumé

Le présent travail est essentiellement consacré à l'étude de quelques propriétés optiques de couches minces de silicium amorphe hydrogéné (a-Si:H) préparées par la technique de pulvérisation cathodique radiofréquence. Il s'agit précisément d'examiner séparément l'influence de la pression partielle d'hydrogène lors du dépôt et l'effet d'un recuit thermique classique postdépôt sur les principales grandeurs optiques des couches telles que l'indice de réfraction, le gap optique et l'énergie d'Urbach. On montre que les faibles pressions d'hydrogène permettent une saturation des liaisons pendantes dans le matériau, alors que les fortes doses conduisent à la création de nouveaux défauts. On montre aussi qu'un recuit thermique à température moyenne permet une nette amélioration de la qualité structurale des couches déposées.

Mots clés

Silicium - Couches Minces – Hydrogène - Recuit Thermique - Propriétés Optiques.

Caracterisation Des Proprietes Optiques De Couches Minces Obtenues Par Evaporatio Sous Vide Et Par Sputtering Sur Du Verre

Benghalem Nafissa .  Hamidouche Mohamed (doctorant) .  Derrouiche Nasma . 
pages 12-20.


Les Propriétés Structurales, Optiques Et électriques Des Couches Minces De Zno:al élaborées Par Spray Ultrasonique

Hafdallah Abdelkader .  Ynineb Fayssal .  Daranfed Warda .  Attaf Nadhir .  Aida Mohamed Salah . 
pages 25-27.


Effet Du Recuit De La Métallisation Par Sérigraphie Sur Les Propriétés Optiques Des Couches Minces De Zno Déposées Par Spray

Belkhalfa H. .  Tala-ighil R. .  Sali S. .  Kermadi S. .  Sili S. .  Boumaour M. .  Tayour F. .  Ait Amar F. .  Si Ahmed Y. . 
pages 347-354.