Marefa review
Volume 1, Numéro 1, Pages 35-39

étude Du Comportement Mécanique Par Simulation à éléments Finis Pour La Caractérisation Des Micro-ponts Mems

Auteurs : Belgroune Nadir .

Résumé

Cet article est basé essentiellement sur l’analyse du comportement statique et dynamique de micro-dispositifs MEMS. Il s’intéresse plus particulièrement aux microstructures de type poutre doublement encastrée « micro-pont ». Suites aux procédés de micro-fabrications de couches minces et plus exactement de micro-ponts une variation apparaît sur les paramètres mécaniques tels que le module d’Young à travers des contraintes résiduelles initiales. D’où la difficulté d’extraire ces paramètres fortement affectés par les procédés de fabrication. Ce travail se propose d’illustrer les effets de variation des paramètres mécaniques sur le comportement des micro-ponts par des modélisations à éléments finis avec Comsol Multiphysics. Cette connaissance jumelée avec des méthodes de caractérisations vibrométrique permettra d’améliorer les étapes de conceptions et ainsi fiabiliser encore plus des micro-dispositifs MEMS.

Mots clés

MEMS, Micro-pont, Modélisation, Caractérisation, Sans contact, FEM Simulation