ARGON HELIUM MIXTURE PLASMA CHARACTERIZATION BY ELECTROSTATIC PROBE.

O., Megali; M.s, Aida; N., Attaf

Communication science et technologie
Volume 7, Numéro 1, Pages 97-102
2009-01-01

Argon Helium Mixture Plasma Characterization By Electrostatic Probe.

Auteurs : O. Megali . M.s Aida . N. Attaf .

Résumé

Les paramètres électriques d’un plasma de mélange helium-argon sont déterminés par la technique de la sonde de Langmuir. L'effet du fau d'hélium R et la puissance radio fréquence RF sur ces paramètres est étudié. Dans toutes les expériences, la pression totale es/ maintenue constante, elle est égale el (J,! mbar el la puissance RF varies de 50 W à 1OO W Notons que la température électronique du plasma du mélange hélium argon est de l'ordre de 11 e V. elle est plus élevée que celle des plasmas d’argon et d'hélium purs. La densité électronique augmente avec la puissance RF d'une part, et d 'autre part, elle est moins élevée que celle du plasma d'argon.