Communication science et technologie
Volume 2, Numéro 1, Pages 25-30
2003-12-01

Depot De Films Minces De Zno Par Pulverisation Cathodique En Mode Reactif



Auteurs : B. Amrani . S. Hamzaoui .

Résumé

L'étude porte sur l'élaboration et la caractérisation de couches minces d'oxyde de pulvérisation cathodique radiofréquence. Ces classiques de caractérisation des matériaux: la diffraction des rayons La méthode des deux sondes pour les mesures électrique et le microscope électronique a balayage. Ces films minces présentent une orientation préférentielle suivants la position face a la cible et sous certaines conditions de dépôt pression, puissance, pourcentage d'argon dan le mélange Ar/O2).

Mots clés

couches minces ,oxyde de zinc, coefficient de couplage électromécanique, IDTs, pulvérisation cathodique rf ,SAW, piézoélectricité ,MEB,DRX

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